Półprzewodniki

Wysoce precyzyjne czujniki dla przemysłu półprzewodnikowego

Linie produkcyjne w branży półprzewodników muszą być wyposażone w najnowsze czujniki, aby spełniać coraz bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące jakości i kosztów. Oznacza to dokładne wykrywanie najmniejszych ruchów, niezawodną identyfikację, gdy tolerancje są przekraczane nawet nieznacznie, oraz monitorowanie procesów, które są na granicy tego, co jest fizycznie możliwe.

Technologia czujników firmy Micro-Epsilon jest z powodzeniem stosowana w przemyśle półprzewodnikowym od wielu lat, oferując odpowiednie rozwiązania dla każdego zadania pomiarowego: czy to dla złożonych procesów front-end, aplikacji back-end automatyzacji fabryk PCB.

Precyzyjne czujniki do dynamicznego monitorowania i sterowania maszynami

Zoptymalizowane czujniki Micro-Epsilon zapewniają precyzyjne pomiary w inżynierii półprzewodników. Są one stosowane w aplikacjach o dużym przyspieszeniu, silnych polach magnetycznych i ultra wysokiej próżni. Czujniki podlegają najbardziej rygorystycznym standardom jakości i monitorują, między innymi, orientację fotomasek i systemów soczewek, pozycjonowanie podczas obsługi płytek półprzewodnikowych oraz prawidłowe położenie luster i elementów optycznych.

Nowoczesne metody produkcji wysoce precyzyjnych czujników przemieszczenia

Ze względu na wysokie wymagania w produkcji półprzewodników, wszystkie czujniki i systemy Micro-Epsilon są poddawane rygorystycznym procesom produkcji i testowania. Dotyczy to między innymi wyboru i rozmieszczenia elektroniki, mechanicznej procedury produkcyjnej i specjalnej technologii procesowej. Ponadto, aby spełnić najwyższe standardy jakości, stosowane są materiały czujników specyficzne dla danego zastosowania.

Technologia laserowa USP
Lutowanie próżniowe w wysokiej temperaturze
Precyzyjna produkcja
Testy wygrzewania
W pełni zautomatyzowane linie do zalewania
Pasywacja i powlekanie komponentów i grup przełączników

Konstrukcja czujnika dostosowana do indywidualnych wymagań klienta

Niski poziom odgazowywania
Odpowiednie dla próżni
Opcje czyszczenia
Technologie zgodne z UHV
Technologie połączeń
Etykietowanie i pakowanie odpowiednie dla półprzewodników
Wysokie standardy zapewnienia jakości