IMS5400-DS Inteferometr światła białego

Nowy interferometr światła białego IMS5400-DS otwiera nowe możliwości w przemysłowych pomiarach odległości.

Sterownik posiada inteligentną funkcję oceny i umożliwia absolutne pomiary z dokładnością do nanometrów przy stosunkowo dużym offsecie. W porównaniu z innymi absolutnymi pomiarowymi systemami optycznymi, IMS5400-DS oferuje niezrównane połączenie dokładności, zakresu pomiarowego i offsetu.

Właściwości:

• Pomiary odległości z dokładnością do nanometrów
• Pomiar absolutny, odpowiedni dla profili stopni
• Kompaktowe i wytrzymałe czujniki o dużym offsecie
• Częstotliwość do 6 kHz dla pomiarów z dużą prędkością
• Ethernet, EtherCAT, RS422
• Solidny sterownik z pasywnym chłodzeniem
• Łatwa konfiguracja za pomocą interfejsu internetowego

Absolutny pomiar odległości z rozdzielczością poniżej nanometrów

IMS5400-DS służy do bardzo precyzyjnych pomiarów przemieszczenia i odległości. W przeciwieństwie do konwencjonalnych interferometrów, IMS5400-DS umożliwia również stabilny pomiar profili stopni. Dzięki pomiarowi absolutnemu skanowanie stopni odbywa się z dużą stabilnością i precyzją sygnału. Podczas pomiaru na poruszających się obiektach można w ten sposób niezawodnie wykryć różnice wysokich przechyłów, stopni i wgłębień.

Idealny do środowisk przemysłowych

Solidne czujniki i kontroler w metalowej obudowie sprawiają, że system idealnie nadaje się do integracji z liniami produkcyjnymi. Sterownik można zamontować w szafie sterowniczej poprzez montaż na szynie DIN i zapewnia bardzo stabilne wyniki pomiarów dzięki aktywnej kompensacji temperatury i pasywnemu chłodzeniu.

Te kompaktowe czujniki zajmują wyjątkowo mało miejsca i można je również zintegrować w ograniczonych przestrzeniach. Bardzo elastyczne przewody światłowodowe są dostępne w długościach do 10 mi umożliwiają oddzielenie czujnika i sterownika. Uruchamianie i parametryzacja odbywa się wygodnie poprzez interfejs sieciowy i nie wymaga instalacji oprogramowania.

Mała plamka świetlna do detekcji najmniejszych szczegółów i struktur

Czujniki generują małą plamkę świetlną w całym zakresie pomiarowym. Średnica plamki świetlnej wynosi zaledwie 10 µm i umożliwia wykrywanie drobnych szczegółów, takich jak struktury na półprzewodnikach i zminiaturyzowane elementy elektroniczne.

NOWOŚĆ: Czujniki o dużej wartości offsetowej

Do bezpiecznych i niezawodnych pomiarów, nawet w trudno dostępnych miejscach lub w przypadku nisko położonych punktów pomiarowych: nowy czujnik IMP DS35/VAC charakteryzuje się dużą wartością offsetową, ogranicza zakłócenia i pozwala zachować bezpieczną odległość od gorących obiektów.

Pomiar wielu powierzchni
Interferometryczna metoda pomiarowa umożliwia pomiary na wielu powierzchniach. Pozwala to na bardzo precyzyjne pomiary odległości na metalach odbijających światło, tworzywach sztucznych i szkle.

 

Liczne modele do wymagających zadań pomiarowych

Model	Zakres pomiarowy / Początek zakresu pomiarowego (Offset)	Liniowość	Liczba mierzalnych warstw	Obszary zastosowań
IMS5400-DS0.5/90/VAC	1,5 mm / ok. 0,5 mm	±50 nm	–	Ultraprecyzyjny pomiar odległości w środowiskach typu cleanroom i w próżni, np. pomiar na płytkach powlekanych (waferach). Niemagnetyczna, tytanowa wersja UHV umożliwia zastosowanie w silnych polach magnetycznych, np. w technice medycznej (rezonans magnetyczny lub mikroskopia elektronowa).
IMS5400-DS10/90/VAC	1,5 mm / 10 mm	±50 nm	–	Przemysłowe pomiary odległości w czystych pomieszczeniach i próżni.
IMS5400-DS19	2,1 mm / ok. 19 mm	±50 nm	–	Przemysłowe pomiary odległości, np. w produkcji precyzyjnej.
IMS5400-DS19/VAC	2,1 mm / ok. 19 mm	±50 nm	–	Precyzyjne zadania pozycjonowania i pomiary odległości w środowiskach cleanroom oraz w próżni, np. w produkcji wyświetlaczy do wytwarzania masek.
IMS5400-DS35/VAC	2,1 mm / ok. 35 mm	< ±50 nm (dla pierwszej odległości) < ±150 nm (dla każdej kolejnej odległości)	–	Precyzyjne monitorowanie położenia w produkcji płytek szklanych oraz pomiary odległości na płytkach powlekanych (waferach). Dzięki dużej odległości offsetu pomiary mogą być wykonywane z bezpiecznego odstępu oraz w niskich lub trudno dostępnych punktach pomiarowych.
IMS5400MP-DS35/VAC	Pomiar odległości: 2,1 mm / ok. 35 mm Pomiar grubości: 0,01 ... 1,3 mm (dla szkła BK7, n=1.5) / ok. 35 mm	< ±50 nm (dla pierwszej odległości) < ±150 nm (dla każdej kolejnej odległości)	Do 13 warstw	Precyzyjne pomiary odległości i grubości w ultra-wysokiej próżni (UHV) i pomieszczeniach cleanroom dla materiałów wielowarstwowych.
IMS5400MP-DS19	Pomiar odległości: 2,1 mm / ok. 19 mm Pomiar grubości: 0,01 ... 1,3 mm (dla szkła BK7, n=1.5) / ok. 19 mm	±50 nm (dla pierwszej odległości) ±150 nm (dla każdej kolejnej odległości)	Do 13 warstw	Przemysłowe pomiary odległości i grubości, np. w produkcji szkła płaskiego.
IMS5400MP-DS19/VAC	Pomiar odległości: 2,1 mm / ok. 19 mm Pomiar grubości: 0,01 ... 1,3 mm (dla szkła BK7, n=1.5) / ok. 19 mm	±50 nm (dla pierwszej odległości) ±150 nm (dla każdej kolejnej odległości)	Do 13 warstw	Precyzyjne pomiary odległości i grubości w środowiskach cleanroom oraz w próżni, np. w produkcji wyświetlaczy do pomiaru odległości i szczelin.